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拋光盤(pán)的平面精度與其精度的保持性決定了平面拋光的精度。因此為了使工件獲得高精-度的加工平面,畢須使用高精-度平面的拋光盤(pán)。在拋光高-精度面積較小的平面加工件時(shí),要使用彈性形變小并且能始-終保持平面度的拋光盤(pán)。所以在平面拋光盤(pán)上涂上一層彈性或軟金屬材料或者是采用特種玻璃作為拋光盤(pán),都可以獲得高精-度的表面質(zhì)量。